电子通信产业作为一门尖端的应用型科学产业,支撑着当今社会的经济发展。其发展水平标志着尖端科技的领先程度。微机电系统(MEMS)技术作为其未来的主导产业之一,发挥着不可忽视的作用。从MEMS技术的主要特点、发展现状、应用前景、产业价值,分析论证MEMS技术在电子通信产业中的价值。
近些年来,以微电子、微加工技术为基础,在电子通信技术产业开始化,而且具有价格便宜、体积小、重量轻、可靠性高等优点。
了一场深刻的革命。人们把一种可以批量制作的,集微型机构、微型传感3 MEMS技术的应用前景器、微型执行器、信号处理、控制电路、直至接口、电源、通信于一体的最近20年是MEMS技术蓬勃发展的20年,它已经从单个器件阶段发展到微型器件系统统称为微机电系统(Micro Electro-mechanical Systems,了集成阶段,在电子通信领域未来主要可以考虑研究改进:有高Q值的电MEMS)。
它将电子技术与机械集成化相结合,是多种科学交融的尖端技感、可变的电容、低损耗的射频滤波器这几大方向。术,对整个电子通信技术产业有深远的影响。
射频滤波器。这是当下MEMS技术的一大研究热点。使用它可以真1 MEMS技术的主要特点正实现各个通讯部件的集成化和微型化,在缩小整个个人移动系统体积的MEMS技术之所以能够有效完成电子机械系统无法完成的工作,提高系同时提高通信信号的处理速度。在电子通信技术产业拥有巨大的市场潜统的智能化、自动化,主要在于它与传统的微电子和机加工技术相比,具力。有几下几个显著的特点。
高Q值电感技术。该技术中其芯片层利用铜化金属和低介电薄膜做1)集成化。MEMS能够将不同功能和不同敏感、制动方向的执行器、在工艺保护层上方,Q值预计可超过30,使用后可实现低成本,高集成、传感器集成化,也能与IC集成更为复杂的微系统。
高射频的处理技术。微型化。MEMS技术的单位已缩小到微米、亚微米级。由其所制作可变的电容。MEMS可变电容通过改变空气层的厚度,电极的重叠的机件不仅体积小、效率高、惯性小、便携带、响应时间短,并且耗能问面积或两极板间的介质进行电容量的调整。其优点为:Q值高,可调范围题得到大大改善。大,制程简单,因此,有望在电子通信技术产业中实现商业化。材料先进。
MEMS技术在选择材料方面以晶体硅为主打。它具有高4 MEMS技术的社会价值度的灵敏性、受力能力好、密度低、传热性好等特点。电子通信技术产业是承载着当下全球经济发展的基础性产业。据调查具量产性。
MEMS技术以硅为主要材料,在一个硅片上可以同时生显示,我国电子及通信产品制造业一直位居工业行业之首,实现利润紧跟产出成千上万副零配件,大大节约生产耗成本,有利于批量生产。原油开采、电力业,并且一直以高出同行业平均增长率两倍的速度蓬勃发2 MEMS技术的发展现状展着。MEMS技术在当下科技研发中主要应用在微型执行器、微型传感器及微MEMS技术作为电子通信技术未来主导产业中的一员,其价值主要表现型系统三个方向。为以下几个方面:微型执行器。
利用微型执行器可以提供电子科技中的各种运动和标志性价值。科学技术是第一生产力,因此高科技含量和高科技控制。装备的MEMS技术无疑是电子通信技术产业中重要的代表。因此,MEMS技术目前主要应用成果有:微型光学器件、微马达、微型阀等等。作为电子通信技术产业作为的重要组成部分,它的发展水平直接标志着电微型传感器。它是MEMS技术中用途最广的一种。
目前最成功的推子通信产业至社会的生产力的发展与进步水平。向市场的是压力传感器,加速度传感器,流量传感器及微机械陀螺等。近发展性价值。当下,不只是MEMS技术的发展日新月异,这种速度几年,MEMS传感器出现"消费电子化"趋势。MEMS传感器开始渗透到消费也波及到整个电子通信行业。
计算机、光纤、移动设备、卫星通信等更新电子市场。周期越来越短,这也要求MEMS技术需要具有了良好的成长性和发展张力。微型系统。高度集成化并具有一定功能的微型系统是MEMS技术研应用性价值。MEMS技术作为蓬勃发展的新兴电子通信技术产业具究的最终目标,也是MEMS应用的必经之路。微系统的主要发展方向是将有极高的市场经济价值和极强的市场需求,它开发空间广,潜力巨大。
随MEMS技术结合光学而产生的微型光机电系统(MOEMS)、将MEMS技术结合着MEMS技术等电子通信技术成果的广泛应用,使用者享受到了科技创新带生物技术而产生的生物医学微系统(BIOMEMS)以及将MEMS技术与射频或来的巨大人文、经济进步。人们开始认识到大力研发和充分利用这些先进微波通信技术相结合产生的射频微系统(RF MEMS):的电子通信技术会加速推动经济发展以致人民的生活质量。